 |
SiC Wafer Hand voor Wafer Handling, Cleanroom Compatible, Corrosiebestendig, Aanpasbare Interface
Productdetails:
| Merknaam: | ZMSH |
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Dichtheid: | 3.21 g/cm3 | Hardheid: | 2500Vickers hardheid |
|---|---|---|---|
| Graangrootte: | 2 ~ 10 μm | Chemische zuiverheid: | 99.99995% |
| Verwarmingscapaciteit: | 640 J·kg-1 ·K-1 | Sublimatietemperatuur: | 2700°C |
Productomschrijving
Productinleiding van Wafer Hand
De SiC-waferhand is een eindeffector ontworpen voor het hanteren van wafers met een hoge hardheid en thermische stabiliteit.Het biedt een uitstekende mechanische sterkte.Het is ideaal voor het verwerken van geavanceerde halfgeleidersubstraten zoals SiC, GaN,en saffier in een schoonruimte en een omgeving met hoge temperaturen.
Structuur en werkingsprincipe van de waferhand
De SiC-waferhand ondersteunt wafers aan de rand of achterkant met behulp van vorkvormige structuren of op maat gemaakte platforms.of mechanische handgrepen die een overdracht zonder contact of met minimaal contact mogelijk makenDe hoge structurele stijfheid zorgt voor dimensionale stabiliteit tijdens het transport, waardoor de wafers nauwkeurig kunnen worden geplaatst en het risico op verontreiniging minimaal is.
Toepassingsgebieden van Wafer Hand
Waferhanden worden veel gebruikt in de volgende halfgeleider- en opto-elektronicaprocessen:
1Wafertransportsystemen (bijv. EFEM, FOUP-lader, SMIF-pod-interfaces)
2.Laad/ontlading van wafers voor lithografie, etsen, ionenimplantatie, thermische verwerking
3Tools voor het inspecteren, sorteren en classificeren van wafers
4.Binding, splitsing, verpakking en laatste teststations
5.Precisie bij het vervaardigen van beeldschermen, MEMS en biochips
6Geschikt voor Si, SiC, GaAs, GaN, saffier en andere substraten
Voordelen van het productvan WAfker Hand
A: Ondersteunt wafers van 2 tot 12 inch; ook maatmaten zijn beschikbaar.
V2: Zal de hand van de wafer de wafer krabben of vervuilen?
A: Nee, de hand is gemaakt van stof met weinig deeltjes en slijtagebestendige materialen.
V3: Kan het worden geïntegreerd met robotsystemen?
A: Ja, het ondersteunt verschillende robotinterfaces (bijv. SECS/GEM, SEMI-normen) en kan voor specifieke systemen worden aangepast.
V4: Wat is de verwachte levensduur en onderhoudsvereisten?
A: Ontworpen voor meer dan 1 miljoen bedrijfscycli met minimaal onderhoud; periodieke reiniging is voldoende.
Q5: Kan het op basis van verschillende wafermaterialen (Si, SiC, saffier, enz.) worden aangepast?
A: Ja, wij bieden op maat gemaakte ontwerpen die zijn geoptimaliseerd voor verschillende wafermaterialen met geschikte ondersteunende structuren.
Gerelateerde producten
12 inch SiC Wafer 300mm Silicon Carbide Wafer Leidende Dummy Grade N-Type Onderzoeksgraad