Overzicht van SiC-epitaxiale wafers

SiC Epitaxial Wafers zijn nu de meest geavanceerde vormfactor in de SiC-industrie.8 SiC-epitaxiale wafers bieden ongeëvenaarde mogelijkheden om de productie van energieapparaten op te schalen en tegelijkertijd de kosten per apparaat te verlagen.

Aangezien de vraag naar elektrische voertuigen, hernieuwbare energie en industriële krachtelektronica wereldwijd blijft stijgen, maken wafers een nieuwe generatie SiC MOSFET's, diodes,en geïntegreerde vermogen modules met een hogere doorvoer, een betere opbrengst en lagere productiekosten.

Met grote bandgap eigenschappen, hoge thermische geleidbaarheid, en uitzonderlijke breukspanning, SiC-wafers zijn het ontgrendelen van nieuwe niveaus van prestaties en efficiëntie in geavanceerde krachtelektronica.

Hoe SiC-epitaxiale wafers worden gemaakt

De productie van SiC-epitaxiale wafers vereist CVD-reactoren van de volgende generatie, nauwkeurige kristalgroeibeheersing en ultravlakke substraattechnologie:

1. Vervaardiging van substraten
   Monokristalliene SiC-substraten worden geproduceerd door middel van sublimatietechnieken bij hoge temperatuur en vervolgens gepolijst tot een ruwheid van minder dan een nanometer.

2. CVD Epitaxiale groei
   Geavanceerde grootschalige CVD-tools werken bij ~ 1600 °C om hoogwaardige SiC-epitaxiale lagen op de 8 ̊-substraten te deponeren, met geoptimaliseerde gasstroom en temperatuuruniformiteit om het grotere gebied te behandelen.

3. Doping op maat
   N- of P-type dopingprofielen worden gemaakt met een hoge uniformiteit over de gehele 300 mm wafer.

4. Precieze metrologie
   Eenvormigheidscontrole, kristaldefectbewaking en in-situ procesbeheer zorgen voor consistentie van het midden tot de rand van de wafer.

5. Alomvattende kwaliteitsborging
   Elke wafer wordt gevalideerd via:

   • AFM, Raman en XRD

   • Defect mapping van volle wafers

   • Oppervlakte ruwheid en warp analyse

   • Metingen van elektrische eigenschappen

Specificaties

Toepassingen

 SiC-epitaxiale wafers maken massaproductie van betrouwbare energieapparaten mogelijk in onder meer:

• Elektrische voertuigen
  Trekkingsomvormers, ingebouwde opladers en gelijkstroom/ gelijkstroomomvormers.

• Vernieuwbare energie
  Zonne-string-omvormers, windenergie-omvormers.

• Industriële aandrijvingen
  Efficiënte motoren, servosystemen.

• 5G / RF-infrastructuur
  Versterkers en RF-schakelaars.

• Consumentenelektronica
  Compacte, efficiënte voedingsbronnen.

Vaak gestelde vragen (FAQ)

1Wat is het nut van 8 ̊ SiC wafers?
Zij verlagen de productiekosten per chip aanzienlijk door een groter waferoppervlak en een hoger procesopbrengst.

2Hoe volwassen is de productie van 8 ̊ SiC?
8° gaat met geselecteerde industriële leiders in proefproductie. Onze wafers zijn nu beschikbaar voor onderzoek en ontwikkeling en volume ramp.

3Kunnen doping en dikte aangepast worden?
Ja, volledige aanpassing van dopingprofiel en epi dikte is beschikbaar.

4Zijn bestaande fabrieken compatibel met 8 ̊ SiC-wafers?
Kleine uitrustingsopgraderingen zijn nodig voor volledige compatibiliteit.

5Wat is de gemiddelde doorlooptijd?
6-10 weken voor eerste bestellingen; korter voor herhaalde volumes.

6Welke industrieën zullen het snelst 8 ̊ SiC gebruiken?
Automobilerij, hernieuwbare energie en netinfrastructuur.

Gerelateerde producten

12 inch SiC Wafer 300mm Silicon Carbide Wafer geleidende dummy-klasse N-type Onderzoeksklasse

4H/6H P-type Sic Wafer 4 inch 6 inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Naar P-type doping