Materiële eigenschappen van CVD Polycrystalline SiC

CVD polykristallijn SiC wordt geproduceerd door chemische dampdepositie.en sterke stabiliteit in halfgeleidervrije procesomgevingen.

Voordelen van het product

Hoge zuiverheid

De zuiverheid van CVD SiC kan99.99997%, waardoor het risico op metaalverontreiniging in halfgeleiderfrontprocessen wordt verminderd.

Uitstekende plasmacorrosiebestendigheid

CVD SiC behoudt een goede stabiliteit in fluor- en chloor-gebaseerde plasmaomgevingen, waardoor slijtage van componenten en de vorming van deeltjes worden verminderd.

Hoge warmtegeleiding

met een warmtegeleidbaarheid van240­360 W/m·K, CVD SiC helpt de gelijkmatigheid van het thermische veld en de consistentie van het proces te verbeteren.

Stabiliteit bij hoge temperaturen

CVD SiC-componenten zijn geschikt voor EPI, diffusie, RTP en andere processen bij hoge temperatuur.

Hoge hardheid en slijtvastheid

De hoge Vickers-hardheid zorgt voor een uitstekende slijtvastheid en verlengt de levensduur van de onderdelen.

Beschikbaar voor op maat gemaakte bewerking

Producten kunnen worden aangepast volgens de tekeningen van de klant, inclusief buitendiameter, binnendiameter, gaten, groeven, treden, kamers, oppervlakteconditie en precisie van de assemblage.

Toepassingsgebieden

CVD-polykristalliene SiC-componenten worden veel gebruikt in:

• Voorzieningen voor het droge etsen
• Epitaxy-apparatuur
• Difusieovengereedschap
• RTP-apparatuur
• OEM-onderdelen voor halfgeleiderapparatuur
• Vervanging van onderdelen voor waferfab
• Si, SiC, GaN, GaAs waferprocessen

V&A

V1: Wat zijn CVD polycrystalline SiC?componentenWaar wordt het voor gebruikt?

CVD polykristallijn SiCcomponentenvoornamelijk gebruikt in halfgeleider front-endapparatuur,met inbegrip van DroogEtsen, EPI, Diffusie en RTPde systemen.Typischonder andere:SiC-ringen, SiCelektroden,kantringen, sensoren, SiC-boten en schijnwafels.

V2: Wat zijn de voordelen van CVD SiC in vergelijking met kwarts- of siliciumonderdelen?

CVD SiC biedt beterPlasmacorrosieweerstand, hoge temperatuurstabiliteit, thermische geleidbaarheid, hardheid endienstverleningLevenDat kan.verminderen deeltjesgeneratie enonderdeeldraag inhardhalfgeleiderproces milieu.

V3: Welke materialen zijnbeschikbaarvoor dezecomponenten?

We kunnen zorgencomponentengemaakt vanCVD SiC, enkelkristalsilicium, multi-kristalsilicium en kwarts, afhankelijk van detoepassingenapparatuur Verplichtingen.