Merknaam: | ZMSH |
Modelnummer: | Silicon carbide seed wafer |
Betalingsvoorwaarden: | 100%T/T |
4H SiC Seed Wafer Dikte 600±50μm <1120> Aanpassing Siliconcarbide groei
SiC-zaadkristal is eigenlijk een klein kristal met dezelfde kristaloriëntatie als het gewenste kristal, dat dient als zaad voor het kweken van een enkel kristal.Met behulp van zaadkristallen met verschillende kristaloriëntatieDaarom worden ze ingedeeld op basis van hun doeleinden: CZ-getrokken enkelkristal zadenkristallen, zone-smelting zadenkristallen,sapphire zaadkristallenIn dit nummer zal ik vooral het productieproces van siliciumcarbide (SiC) zaadkristallen met u delen.met inbegrip van de selectie en bereiding van zaadkristallen van siliciumcarbide, groeimethoden, thermodynamische eigenschappen, groeimechanismen en groeicontrole.
1Breedbandverschil.
2. Hoge warmtegeleidbaarheid
3- Hoog kritiek veldsterkte.
4. Hoge verzadigings-elektrondrift
van siliciumcarbide | |
Polytype | 4 uur |
Fout in de oriëntatie van het oppervlak | 4°<11-20>±0,5o |
Resistiviteit | aanpassing |
Diameter | 205±0,5 mm |
Dikte | 600±50 μm |
Ruwheid | CMP,Ra≤0,2 nm |
Gewichtsverlies van de micropipe | ≤ 1 ea/cm2 |
Schrammen | ≤ 5,Totale lengte ≤ 2*Diameter |
Edge-chips/indringingen | Geen |
Vorderlasermarkering | Geen |
Schrammen | ≤2,Totale lengte≤Diameter |
Edge-chips/indringingen | Geen |
Polytypische gebieden | Geen |
Achterste lasermarkering | 1 mm (vanaf bovenste rand) |
De rand | Chamfer |
Verpakking | met een breedte van niet meer dan 50 mm |
Het siliciumcarbide-zaadkristal wordt gebruikt voor de bereiding van siliciumcarbide.
Siliciumcarbide enkelkristallen worden meestal geteeld met behulp van de fysieke damptransportmethode.De specifieke stappen van deze methode omvatten het plaatsen van siliciumcarbidepoeder op de bodem van een grafietketel en het plaatsen van een siliciumcarbidezaadkristal op de bovenkant van de ketelDe grafietkruik wordt vervolgens verhit tot de sublimatietemperatuur van siliciumcarbide.Deze stoffen verheffen zich naar de top van de smeltkroes onder invloed van een axiale temperatuurgradiëntWanneer ze de top bereiken, condenseren ze op het oppervlak van het zaadkristal van siliciumcarbide en kristalliseren tot een enkelkristal van siliciumcarbide.
De diameter van het zaadkristal moet overeenkomen met de gewenste kristaldiameter.
1.6 inch Dia153mm 0.5mm monocristallijn SiC Silicon Carbide kristal zaad Wafer of ingot
2.4h-N 100um Siliciumcarbide slijppoeder voor SIC-kristalgroei