Productoverzicht

Siliciumcarbide keramische ringen zijn precisietechnische onderdelen vervaardigd van hoogzuivere siliciumcarbide (SiC) keramiek.uitstekende corrosiebestendigheid, hoge mechanische sterkte en superieure slijtvastheid, worden SiC-keramische ringen veel gebruikt in apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders, vacuümsystemen, hoogtemperatuurovens,en industriële toepassingen van precisie.

Door middel van geavanceerde vorm-, sinter- en precisiebewerkingsprocessen kunnen deze componenten nauwe dimensionale toleranties, complexe geometrieën,en uitstekende oppervlakteafwerkingen om aan de veeleisende industriële eisen te voldoen.

Belangrijkste kenmerken

1Uitstekende prestaties bij hoge temperaturen

• Voor een hoog temperatuurniveau tot1600°C+afhankelijk van de materiaalkwaliteit en de toepassingsomstandigheden
• Behoudt mechanische sterkte en dimensionale stabiliteit bij verhoogde temperaturen
• Ideaal voor thermische verwerking, epitaxie, diffusie en hoogtemperatuuroventoepassingen

2. Hoge zuiverheid en lage verontreiniging

• Vervaardigd van hoogzuivere siliciumcarbide materialen
• Een lage deeltjesopwekking en minimale metaalverontreiniging
• Geschikt voor halfgeleiderreinigruimteomgevingen en waferverwerkingstoepassingen

3Uitstekende corrosiebestendigheid

• Uitstekende weerstand tegen zuren, alkalis en plasmaomgevingen
• Stabiele prestaties tegen agressieve procesgassen zoals:Cl2, HCl en NF3
• Geschikt voor halfgeleideretsen, CVD- en PVD-apparatuur

4. Hoge mechanische sterkte en slijtvastheid

• Mohs-hardheid van ongeveer9
• Uitstekende slijtvastheid voor een lange levensduur
• geschikt voor precisie-ondersteuningsconstructies en mechanische onderdelen

5. Bewerkingscapaciteit met hoge precisie

De beschikbare bewerkingsprocessen omvatten:

• Bewerkingen van buitendiameters en van binnendiameters
• Precies slijpen en polijsten
• Beheersing van nauwe dimensionale en geometrische toleranties
• Op maat gemaakte complexe structuren

Productspecificaties

Toepassingen

Apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders

• met een gewicht van niet meer dan 10 kg
• onderdelen van halfgeleiderkamers
• CVD/PECVD-apparatuuronderdelen
• onderdelen van epitaxiale groeiofens
• RTP-componenten (snelle thermische verwerking)
• Waferhanterings- en ondersteuningssystemen

Fotovoltaïsche industrie

• Hoogtemperatuurovenonderdelen
• Verwarmingsbewerkingsinstallaties
• delen voor het ondersteunen van siliciumwafers

Vacuüm- en hoogtemperatuursystemen

• onderdelen van vacuümovens
• Verwarmingssysteemondersteuningen
• Thermische isolatieconstructies

Industriële toepassingen van precisie

• met een gewicht van niet meer dan 10 kg
• Pomponderdelen
• Positionerings- en ondersteuningsonderdelen

Vragen en antwoorden Silicon Carbide Ceramic Ring (SiC Ceramic Ring)

V1: Wat is een Silicon Carbide Ceramic Ring?

A:Een Silicon Carbide Ceramic Ring is een precisie-keramisch onderdeel vervaardigd van hoogzuiver siliciumcarbide (SiC).mechanische sterkte, en slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor halfgeleiderapparatuur, vacuümsystemen en toepassingen bij hoge temperaturen.

V2: Wat zijn de belangrijkste voordelen van SiC-keramische ringen?

A:SiC-keramische ringen bieden verschillende voordelen:

• Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (tot 1600 °C+ afhankelijk van de materialgraad)
• Superieure weerstand tegen plasma en chemische corrosie
• Hoge hardheid en slijtvastheid
• Lage thermische uitbreiding en uitstekende dimensionale stabiliteit
• Deeltjesopwekking met een lage concentratie voor halfgeleiders

V3: Welke industrieën gebruiken siliconcarbide keramische ringen?

A:SiC-keramische ringen worden veel gebruikt in:

• apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders
• CVD-, PECVD- en PVD-systemen
• Verwerkings- en verwerkingsapparatuur voor wafers
• Epitaxiale groeisystemen
• met een vermogen van niet meer dan 10 kW
• Industriële apparatuur voor hoge temperaturen
• Vervaardigingsapparatuur voor fotovoltaïsche installaties