Introductie van BF33 glaswafer

De BF33 glaswafer—algemeen bekend als BOROFLOAT 33 of BF 33—is een hoogwaardige borosilicaat floatglaswafer vervaardigd door SCHOTT, bekend om zijn uitzonderlijke thermische, optische, chemische en mechanische eigenschappen. De “33” in zijn naam verwijst naar zijn uitzettingscoëfficiënt (CTE) van ongeveer 3,3 ppm/°C, een kenmerk dat nauw aansluit bij silicium, waardoor het een voorkeurskeuze is voor halfgeleider- en micro-elektronische toepassingen.

BOROFLOAT 33 wordt gemaakt met behulp van SCHOTT’s baanbrekende microfloatproces, dat een homogeen materiaal oplevert met een spiegelachtige oppervlaktekwaliteit, hoge vlakheid, minimale microruwheid en algehele uitstekende optische helderheid.

Materiaalsamenstelling & Structurele Integriteit van BF33 glaswafer

De glassamenstelling van BF33 is ongeveer:

•  SiO ²

•  B ²O ³

•  Na ²O/K ²O

•  Al ²O ³ 

Deze formulering levert belangrijke voordelen op:

• Lage dichtheid, lichter dan typisch soda-kalkglas, waardoor lichtgewicht gelamineerde structuren mogelijk zijn (bijv. kogelwerend glas).

• Lage alkaligehalte, wat uitloging in analytische of biomedische apparaten vermindert en interferentie tijdens metingen minimaliseert.

Thermische & Mechanische Eigenschappen van BF33 glaswafer

Thermische Prestaties

• Uitzettingscoëfficiënt (CTE): ≈ 3,25 ppm/°C—nauwe overeenkomst met silicium—zorgt voor minimale spanning tijdens temperatuurveranderingen en is essentieel voor processen zoals anodische bonding.

• Temperatuurbestendigheid: Tot 450 °C voor langdurig gebruik, en 500 °C voor kortdurend (<10 uur) gebruik.

• Thermische Schokbestendigheid: De lage CTE en structurele integriteit bieden uitstekende weerstand tegen snelle temperatuurschommelingen, waardoor barsten of kromtrekken wordt voorkomen.

Mechanische Sterkte

• Hardheid: Hoge Knoop-hardheid (≈ 480 HK) en robuuste slijtvastheid, aanzienlijk beter dan gewoon soda-kalkglas.

• Elasticiteitsmodulus: Ongeveer 64 kN/mm² met een Poisson-verhouding van ongeveer 0,2.

• Deze kenmerken maken BF33 zeer goed bestand tegen penetratie, krassen en mechanische slijtage.

Optische & Chemische Eigenschappen van BF33 glaswafer

Optische Kenmerken

• Hoge transparantie over UV-, zichtbare en nabij-infraroodgolflengten, met zeer lage autofluorescentie—ideaal voor hoogprecisie optische en analytische systemen.

• UV-transmissie: Bij 0,5 mm dikte, transmissie > 90% bij 308 nm, en nog steeds > 35% bij 248 nm—aanzienlijk beter dan andere dunne glasmaterialen.

Chemische Duurzaamheid

• Uitstekende weerstand tegen water, sterke zuren, logen en organische oplosmiddelen—waardoor BF33 bijzonder geschikt is voor agressieve chemische omgevingen zoals nat etsen, CMP of analytische instrumenten.

• Hydrolytische en corrosiebestendigheid is geclassificeerd als klasse 1 volgens ISO/DIN-normen.

Oppervlaktekwaliteit & Fabricage van BF33 glaswafer

Veel leveranciers bieden dubbelzijdig gepolijste (DSP) BF33 wafers, vaak met een oppervlakte-ruwheid van minder dan een nanometer (< 1 nm Ra), strakke TTV (<10 µm), en afwerkingen met weinig defecten (bijv. kras/deuk 60/40), geschikt voor veeleisende microfabricagevereisten.

Dergelijke specificaties garanderen een uitstekende vlakheid en compatibiliteit met bonding, met name voor anodische bonding, laser debonding, en optische assemblage waar oppervlaktekwaliteit cruciaal is.

Typische Toepassingen van BF33 glaswafer

De uitzonderlijke eigenschappen van BF33 maken het een veelgebruikt materiaal in diverse domeinen:

• Halfgeleider & Micro-elektronica: Dragerwafers, anodische bonding met silicium, waferverdunning, microfluïda, MEMS, optische sensoren en lab-on-chip apparaten.

• Optica & Fotonica: Laseroptica, filters, spiegels, microscoopglaasjes en optica in veeleisende thermische omgevingen.

• Analytisch & Biomedisch: Biochips, titratieplaten, microfluïdische systemen, diagnostische hulpmiddelen—dankzij lage autofluorescentie en chemische zuiverheid.

• Industriële Toepassingen: Hoge-temperatuur optica, ovenramen, schijnwerperafdekkingen, kijkglazen voor chemische reactoren.

• Energie & Milieutechnologie: Substraten voor fotovoltaïsche systemen, milieusensoren en microfluïdische apparaten voor milieumonitoring.

• Lucht- en Ruimtevaart & Defensie: Duurzame, thermisch stabiele componenten zoals instrumentatiepanelen, sensorvensters en ruimteoptica.

Samenvatting & Voordelen van BF33 glaswafer

Samenvattend biedt de BF33 / BOROFLOAT 33 glaswafer een ongeëvenaarde combinatie van eigenschappen:

Deze attributen maken het een veelzijdig en hoogwaardig substraat voor toepassingen waar betrouwbaarheid, precisie en duurzaamheid onmisbaar zijn.

Conclusie van BF33 glaswafer

De BF33/BOROFLOAT 33 glaswafer onderscheidt zich als een topklasse borosilicaatglas substraat, ontworpen via SCHOTT’s microfloatproces. De synergie van lage thermische uitzetting, thermische schokbestendigheid, hoge optische kwaliteit, chemische inertheid, mechanische robuustheid en uitmuntende oppervlaktekwaliteit maakt het onmisbaar op alle schalen—van geavanceerde halfgeleiderverpakkingen tot baanbrekende optische systemen, biomedische instrumentatie en lucht- en ruimtevaarttechnologieën.

Veelgestelde Vragen (FAQ) van BF33 glaswafer

Wat is BF33 glas?

BF33, ook bekend als BOROFLOAT 33, is een hoogwaardig borosilicaat floatglas vervaardigd met behulp van SCHOTT’s eigen microfloatproces. Het kenmerkt zich door lage thermische uitzetting (~3,3 × 10 ²&sup6; K ²²¹), hoge thermische schokbestendigheid, uitstekende chemische duurzaamheid en uitstekende optische helderheid. Het wordt vaak geleverd in wafervorm voor halfgeleider-, microfluïda- en optische toepassingen.

Wat is het verschil tussen BF33 en gewoon glas?

In tegenstelling tot soda-kalkglas bevat BF33 meer dan 80% siliciumdioxide en aanzienlijke booroxide, wat:

• Vermindert thermische uitzetting, waardoor barsten tijdens temperatuurcycli worden voorkomen.

• Verhoogt de chemische weerstand tegen zuren, basen en oplosmiddelen.

• Verbetert de UV- en infraroodtransmissie.

• Verbetert de mechanische sterkte en krasbestendigheid.

Waarom wordt BF33 glas veel gebruikt in de fabricage van halfgeleiders en MEMS?

De thermische uitzetting komt overeen met die van silicium, waardoor stressvrije anodische bonding mogelijk is. Bovendien maakt de chemische duurzaamheid het bestand tegen nat etsen, CMP en andere cleanroomprocessen zonder degradatie.

Kunnen BF33 glaswafers worden gepolijst?

Ja. BF33 wafers worden vaak geleverd als DSP (Double-Side Polished) of SSP (Single-Side Polished) met een oppervlakte-ruwheid < 1 nm Ra en lage totale diktevariatie (TTV), wat cruciaal is voor fotolithografie en wafer bonding.

Over Ons

ZMSH is gespecialiseerd in high-tech ontwikkeling, productie en verkoop van speciaal optisch glas en nieuwe kristalmaterialen. Onze producten bedienen opto-elektronica en consumentenelektronica. Wij bieden saffier optische componenten, mobiele telefoon lenscovers, keramiek, LT, siliciumcarbide SIC, kwarts en halfgeleiderkristalwafers. Met deskundige expertise en geavanceerde apparatuur blinken we uit in de verwerking van niet-standaard producten, met als doel een toonaangevend high-tech bedrijf in opto-elektronische materialen te zijn.