SiC-zaadcoatingBondingSintering Integrated Solution
 

Precision Spray Coating • Centrale Alignment Bonding • Vacuüm Debubbling • Carbonisatie/Sintering Consolidation

Veranderen van SiC-zaadbinding van een werk dat afhankelijk is van de gebruiker in een herhaalbaar, parameterdreven proces: gecontroleerde kleeflaagdikte, middenuitlijning met airbagpers, vacuümdebubbeling,en temperatuurs-/drukverstelbare carbonisatieconsolidatieGebouwd voor 6/8/12-inch productiescenario's.

1. Productoverzicht

Wat het is
 

Deze geïntegreerde oplossing is ontworpen voor de upstream-stap van SiC-kristalgroei waarbij het zaad/wafer wordt gebonden aan grafietpapier/grafietplaat (en aanverwante interfaces).Het sluit de proceslus over:
 

Bescherming (spuitlijm) → Binding (afstemming + persing + vacuüm ontdooiing) → Sinteren/verkooling (consolidatie en houten)

Door de vorm van kleefstoffen, het verwijderen van bubbels en de uiteindelijke consolidatie als één keten te beheersen, verbetert de oplossing de consistentie, de vervaardigbaarheid en de schaalbaarheid.

Configuratieopties

A. Halfautomatische lijn
SiC-spuitcoatingsmachine → SiC-bindmachine → SiC-sinteroven

B. Volledig automatische lijn
Automatische spuitcoating & bonding machine → SiC sinteroven
Facultatieve integraties: robothantering, kalibratie/uitlijning, ID-lezen, bubbeldetectie

Belangrijkste voordelen

• Gecontroleerde kleeflaagdikte en -dekking voor betere herhaalbaarheid
• Centrale uitlijning en druk op airbags voor gelijkmatig contact en drukverdeling
• Vacuümdebubbling om bubbels/leegtes in de lijmlaag te verminderen
• Aanpasbare temperatuurs-/drukverkooling om de eindbinding te stabiliseren
• Automatiseringsmogelijkheden voor stabiele cyclustijd, traceerbaarheid en kwaliteitscontrole

2. Beginsel

Waarom traditionele methoden moeite hebben
De prestaties van de zaadbinding worden doorgaans beperkt door drie aan elkaar gekoppelde variabelen:

1. Lijmlaag consistentie (dikte en uniformiteit)

2. Beheersing van bubbels/leegte (lucht gevangen in de lijmlaag)

3. Stabiliteit na binding na verharding/verkooling

Handmatige coating leidt vaak tot dikte-onverenigbaarheid, moeilijk debubbelen, een hoger risico op interne leegte, mogelijk krabben van grafietoppervlakken en slechte schaalbaarheid voor massaproductie.

Spincoating kan een onstabiele dikte veroorzaken door kleefstroomgedrag, oppervlaktespanning en centrifugale kracht.Het kan ook worden geconfronteerd met zijdelingse verontreiniging en bevestigingsbeperkingen op grafietpapier/platen, en het kan moeilijk zijn voor kleefstoffen met een vast gehalte om gelijkmatig te worden gecoat.

Hoe werkt de geïntegreerde aanpak

Bescherming: door middel van een spuitbescherming ontstaat een meer controleerbare kleeflaagdikte en -dekking op het doeloppervlak (zaad/wafer, grafietpapier/plaat).

Bonding: Centrale uitlijning + airbagdruk ondersteunt consistent contact; vacuüm debubbling vermindert gevangen lucht, bubbels en leegtes in de kleeflaag.

Sintering/verkooling: Hoogtemperatuurconsolidatie met instelbare temperatuur en druk stabiliseert de uiteindelijke gebonden interface en zorgt voor bubbelvrije en uniforme persresultaten.

Referentieprestatieverklaring
De koolstofbindingsopbrengst kan meer dan 90% bereiken (procesreferentie).

3. Proces

A. Halfautomatische werkstroom

Stap 1 Spraycoating (coating)
De testmethode is gebaseerd op de volgende methoden:

Stap 2 Alignment & Bonding (Bonding)
Voer de middenlijn uit, druk op de airbag en gebruik vacuümdebubbling om de opgesloten lucht in de lijmlaag te verwijderen.

Fase 3
Verplaats gebonden onderdelen in de sinteroven en voer een koolstofconsolidatie bij hoge temperatuur met instelbare temperatuur en druk uit om de eindbinding te stabiliseren.

B. Volledig geautomatiseerde werkstroom

De automatische sproei-coating & bonding machine integreert coating en bonding acties en kan automatische manipulatie en kalibratie omvatten.Inline-opties kunnen ID-lezen en bubbeldetectie voor traceerbaarheid en kwaliteitscontrole omvattenDe onderdelen worden vervolgens naar de sinteroven vervoerd om te worden gecarboniseerd.

Flexibiliteit van de procesroute
Afhankelijk van de interfacemateriaal en de gewenste praktijk kan het systeem verschillende coatingsequenties en eenzijdige of dubbelzijdige spuitroutes ondersteunen, met behoud van hetzelfde doel:stabiele kleeflaag → effectief ontbinden → uniforme consolidatie.

4. Toepassingen

Primaire toepassing
SiC-kristalgroei upstream zaadbinding: binding van zaad/wafer aan grafietpapier/grafietplaat en aanverwante interfaces, gevolgd door koolstofconsolidatie.

Grootte scenario's
Ondersteunt 6/8/12-inch binding applicaties via configuratie selectie en gevalideerde proces routing.

Typische pasvormindicatoren
• Handmatige coating veroorzaakt diktevariabiliteit, bubbels/leegtes, krassen en inconsistente opbrengst
• Spincoatingdikte is onstabiel of moeilijk op grafietpapier/platen; zijdelingse besmetting/bevestigingsbeperkingen bestaan
• Je hebt schaalbare productie nodig met een nauwere herhaalbaarheid en een lagere afhankelijkheid van de gebruiker
• U wilt automatisering, traceerbaarheid en in-line QC-opties (ID + bubbeldetectie)

5. Klassieke gevallen (typische resultaten)

Opmerking: De volgende zijn typische referentiegegevens/procesreferenties. De werkelijke prestaties zijn afhankelijk van het kleefsysteem, de inkomende materialenomstandigheden, het gevalideerde procesvenster en de inspectienormen.

Gebeurtenis 1 6/8-inch Seed Bonding (Throughput & Yield Reference)
Geen grafietplaat: 6 stuks/eenheid/dag
met grafietplaat: 2,5 stuks/eenheid/dag
Bonding yield: ≥95%

Geval 2 12 inch Seed Bonding (Throughput & Yield Reference)
Geen grafietplaat: 5 stuks/eenheid/dag
Met grafietplaat: 2 stuks/eenheid/dag
Bonding yield: ≥95%

Geval 3 – Referentie van de opbrengst van koolstofconsolidatie
Gewicht van de koolstofbinding: 90%+ (procesreferentie)
Doelresultaat: bubbelvrije en uniforme persresultaten (afhankelijk van validatie- en inspectiecriteria)

6. Vragen en antwoorden (FAQ)

V1: Wat is het kernprobleem dat deze oplossing aanpakt?
A: Het stabiliseert de zaadbinding door de kleefdikte/dekking, de debubblingprestaties en de consolidatie na de binding te controleren.

V2: Waarom leidt handmatige coating vaak tot bubbels/leegtes?
A: Handmatige methoden hebben moeite om de consistente dikte te behouden, waardoor het ontbinden moeilijker wordt en het risico op opgesloten lucht toeneemt.Ze kunnen ook grafietoppervlakken krabben en zijn moeilijk te standaardiseren op volume.

Vraag 3: Waarom kan spinscherming voor deze toepassing onstabiel zijn?
A: De dikte is gevoelig voor het gedrag van de kleefstofstroom, de oppervlaktespanning en de centrifugale kracht.en kleefstoffen met een vast gehalte kunnen moeilijk zijn om de laag gelijkmatig te draaien.