SiC keramische bakplaat voor 2 inch 4 inch 6 inch wafer verwerking en maat
Productdetails:
Merknaam: | ZMSH |
Gedetailleerde informatie |
|||
Zuiverheid: | 990,9% | Kleur: | Zwart |
---|---|---|---|
Dichtheid: | 3.14 g/cm3 | Fleksievermogen: | 410Mpa |
Young's Modulus: | 430 GPa | Poisson's ratio: | 0,17 |
Fractuursterkte: | 2 ̊3MPa m1/2 | Uitzettingscoëfficiënt: | 4.1x10-6 [Normale temperatuur ~ 800°C] |
Markeren: | 2 inch SiC keramische bak,Persoonlijke grootte SiC keramische bakplaat,4 inch SiC keramische bak |
Productomschrijving
SiC keramische bakplaat, voor 2 inch 4 inch 6 inch wafer verwerking en maat
SiC-keramische bakplaten
SiC (Silicon Carbide) keramische bakplaten zijn gespecialiseerde componenten die zijn ontworpen voor toepassingen met hoge prestaties, met name in de halfgeleiderindustrie.Deze bakken spelen een cruciale rol in het fabricageproces van halfgeleiderapparaten, een stabiel en betrouwbaar platform voor de verwerking van siliciumwafers.SiC-keramische bakken kunnen bestand zijn tegen de hoge temperaturen die tijdens verschillende fasen van de waferverwerking vereist zijn, zoals epitaxie, diffusie en oxidatie.
Naast hun thermische eigenschappen vertonen SiC-bakken een opmerkelijke mechanische sterkte, waardoor ze zware ondergronden kunnen dragen zonder te vervormen of te barsten.Hun uitstekende chemische weerstand zorgt voor duurzaamheid in de aanwezigheid van corrosieve materialen die vaak voorkomen in halfgeleiderproductieprocessen.
Bovendien dragen SiC-keramische bakplaten bij aan een betere warmteverdeling, die essentieel is voor het handhaven van consistente verwerkingsomstandigheden over het oppervlak van de wafer.Deze functie helpt bij het minimaliseren van gebreken en verbetert de algehele kwaliteit van halfgeleiderapparaten.
Deze veelzijdige bakken kunnen ook in verschillende maten en vormen worden aangepast om aan specifieke productievereisten te voldoen, waardoor ze een onmisbare troef zijn in de halfgeleiderindustrie.waar nauwkeurigheid en betrouwbaarheid voorop staan.
Eigenschappen van SiC-keramische bakplaten
Hoge thermische stabiliteit:
SiC-keramische trayplaten kunnen extreme temperaturen weerstaan, waardoor ze geschikt zijn voor toepassingen bij hoge temperaturen, zoals sinteren en halfgeleiderverwerking.
Uitstekende mechanische sterkte:
Zij bezitten een superieure sterkte en hardheid, waardoor zij zonder vervorming zware lasten kunnen dragen, waardoor duurzaamheid en levensduur worden gewaarborgd.
Chemische weerstand:
SiC-bakken zijn zeer bestand tegen corrosie en chemische aanvallen, waardoor ze ideaal zijn voor gebruik in agressieve omgevingen, met name in de chemische verwerking en de vervaardiging van halfgeleiders.
Thermische geleidbaarheid:
Deze platen vertonen een goede thermische geleidbaarheid en bevorderen een efficiënte warmteverdeling, wat essentieel is in processen die een uniforme temperatuurregeling vereisen.
Lichtgewicht:
Ondanks hun sterkte zijn SiC-keramische bakken relatief lichtgewicht, waardoor het gemakkelijker is om ze tijdens het productieproces te hanteren en te vervoeren.
Elektrische isolatie:
SiC-materialen bieden uitstekende elektrische isolatie eigenschappen, waardoor ze geschikt zijn voor gebruik in elektronische toepassingen waar de elektrische geleidbaarheid tot een minimum moet worden beperkt.
Laag thermisch uitbreiden:
De lage coëfficiënt van thermische uitbreiding zorgt voor dimensionale stabiliteit onder verschillende temperatuuromstandigheden, waardoor het risico op vervorming of scheuringen wordt verminderd.
Vervaardiging | ASUZAC | ASUZAC | Maatschappij A | Compagnie B | Compagnie C | |
---|---|---|---|---|---|---|
Naam van het product | ASiC | SiC3N | ||||
Vervaardigingsmethode | Sintering onder normale druk | Sintering onder normale druk | Warm persen | CVD | Si-SiC | |
Dichtheid | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
Vickers hardheid | 28 | 28 | 22 | 26 | - Wat is er? | |
Fleksievermogen | MPa | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
Elasticiteit | GPA | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
Breuksterkte | MPa/cm^0.5 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | - Wat is er? | - Wat is er? |
Thermische uitbreiding | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
Thermische geleidbaarheid | W/m•K | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
Aanpasbaarheid:
SiC-keramische trayplaten kunnen in verschillende maten en vormen worden geproduceerd, zodat ze kunnen worden aangepast aan specifieke toepassingsbehoeften.
Deze eigenschappen maken SiC-keramische bakplaten een essentieel onderdeel in verschillende industrieën, met name in de vervaardiging van halfgeleiders, sintering bij hoge temperatuur en chemische verwerking.
Toepassingen van SiC-keramische bakplaten
Vervaardiging van halfgeleiders:
SiC-keramische bakplaten worden veel gebruikt om siliciumwafers te ondersteunen tijdens verschillende fabricageprocessen, waaronder epitaxie, diffusie en oxidatie.Hun hoge thermische stabiliteit en mechanische sterkte zorgen voor optimale verwerkingsomstandigheden en minimaliseren gebreken.
Hoogtemperatuursinteren:
Bij de productie van geavanceerde keramiek en materialen worden SiC-bakken gebruikt bij hoogtemperatuursinterprocessen.het leveren van een betrouwbaar platform dat bestand is tegen extreme omstandigheden zonder vervorming.
Chemische verwerking:
Door hun uitstekende chemische weerstand zijn SiC-keramische bakken ideaal voor de behandeling van agressieve chemicaliën in laboratoria en industriële omgevingen.Destillatie kolommen, en andere apparatuur die duurzaamheid tegen corrosieve stoffen vereist.
Elektronische en elektrische componenten:
SiC-bakken dienen als substraat bij de vervaardiging van elektronische apparaten en componenten,waar hun isolatie-eigenschappen en warmtegeleidbaarheid cruciaal zijn voor het behoud van prestaties en betrouwbaarheid.
Optische toepassingen:
In de fabricage van optische componenten worden SiC-bakken gebruikt om materialen te ondersteunen en te verwerken die een nauwkeurige temperatuurregeling en stabiliteit vereisen, waardoor eindproducten van hoge kwaliteit worden gewaarborgd.
Luchtvaart- en automobielindustrie:
SiC-keramische trayplaten worden voor hun lichtgewicht en hoge sterkte in de lucht- en ruimtevaart en de automobielindustrie gebruikt.met name in onderdelen die thermisch beheer en corrosiebestendigheid vereisen.
Onderzoek en ontwikkeling:
In onderzoeks- en ontwikkelingsomgevingen worden SiC-bakken vaak gebruikt voor experimentele installaties waarbij hoge temperaturen of corrosieve chemicaliën worden gebruikt, waardoor een robuust platform wordt geboden voor het testen van innovatieve materialen.
SiC-keramische bakplaten