 |
SiC-epitaxiale wafer 4H/6H SiC-substraten
Productdetails:
| Plaats van herkomst: | China |
| Merknaam: | ZMSH |
| Modelnummer: | 4 inch |
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
| Min. bestelaantal: | 10 |
|---|---|
| Prijs: | 5 USD |
| Verpakking Details: | maatwerk dozen |
| Levertijd: | 4-8 weken |
| Betalingscondities: | T/T |
| Levering vermogen: | door geval |
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Grade: | Zero MPD Grade,Production Grade,Research Grade,Dummy Grade | Resistivity 4H-N: | 0.015~0.028 Ω•cm |
|---|---|---|---|
| Resistivity 4/6H-SI: | ≥1E7 Ω·cm | Primary Flat: | {10-10}±5.0° or round shape |
| TTV/Bow /Warp: | ≤10μm /≤10μm /≤15μm | Roughness: | Polish Ra≤1 nm / CMP Ra≤0.5 nm |
Productomschrijving
Overzicht van SiC-epitaxiale wafers
SiC-epitaxiale wafers van 4 inch (100 mm) blijven een belangrijke rol spelen op de halfgeleidermarkt.als een zeer volwassen en betrouwbaar platform voor producenten van krachtelektronica en RF-apparaten wereldwijdDe wafergrootte van 4 ′′ zorgt voor een uitstekend evenwicht tussen prestaties, beschikbaarheid en kosteneffectiviteit, waardoor het de belangrijkste keuze van de industrie is voor de productie van middelgrote tot grote hoeveelheden.
SiC-epitaxiale wafers bestaan uit een dunne, nauwkeurig gecontroleerde laag siliciumcarbide die is afgezet op een hoogwaardig monokristallijn SiC-substraat.uitstekende kristalline kwaliteitMet een brede bandgap (3,2 eV), een hoog kritisch elektrisch veld (~3 MV/cm) en een hoge thermische geleidbaarheid,4 ̊ SiC-epitaxiale wafers maken apparaten mogelijk die silicium in hoge spanning overtreffen, hoogfrequente en hoge temperatuur toepassingen.
Veel industrieën, variërend van elektrische voertuigen tot zonne-energie en industriële aandrijvingen, vertrouwen nog steeds op 4 SiC-epitaxiale wafers om efficiënte, robuuste en compacte krachtelektronica te produceren.
Vervaardigingsbeginsel
De productie van 4 ̊ SiC-epitaxiale wafers omvat een sterk gecontroleerdeChemische dampafzetting (CVD)proces:
-
Voorbereiding van het substraat
Hoge zuiverheid 4×4H-SiC of 6H-SiC-substraten worden geavanceerd chemisch-mechanisch gepolijst (CMP) om atomair gladde oppervlakken te creëren, waardoor gebreken tijdens epitaxiale groei worden geminimaliseerd. -
Groei van de epitaxiale laag
In CVD-reactoren worden gassen zoals silane (SiH4) en propaan (C3H8) bij hoge temperaturen (~ 1600~1700 °C) ingevoerd.een nieuwe kristallijne SiC-laag vormen. -
Gecontroleerde doping
Dopanten zoals stikstof (n-type) of aluminium (p-type) worden zorgvuldig ingevoerd om elektrische eigenschappen zoals weerstand en dragerconcentratie af te stemmen. -
Precieze monitoring
Real-time monitoring zorgt voor een strikte controle van de uniformiteit van de dikte en de dopingprofielen over de gehele 4 ̊-wafer. -
Kwaliteitscontrole na verwerking
De afgewerkte wafers worden strikt getest:-
Atomic Force Microscopy (AFM) voor oppervlakkrapheid
-
Raman spectroscopie voor spanningen en defecten
-
Röntgendiffractie (XRD) voor kristallografische kwaliteit
-
Fotoluminescentie voor de mapping van defecten
-
Boog/warpmetingen
-
Specificaties
| 4 inch diameter Siliciumcarbide (SiC) Substraatspecificatie | |||||||||
| Graad | Nul MPD-klasse | Productieklasse | Onderzoeksgraad | Vervaardiging | |||||
| Diameter | 100. mm±0,5 mm | ||||||||
| Dikte | 350 μm±25 μm of 500±25 μm Of andere op maat gemaakte dikte | ||||||||
| Waferoriëntatie | Buiten de as: 4,0° richting < 1120> ± 0,5° voor 4H-N/4H-SI Op de as: < 0001> ± 0,5° voor 6H-N/6H-SI/4H-N/4H-SI | ||||||||
| Gewichtsverlies van de micropipe | ≤ 0 cm-2 | ≤ 1 cm-2 | ≤ 5 cm-2 | ≤ 10 cm-2 | |||||
| Resistiviteit | 4H-N | 0.0150.028 Ω•cm | |||||||
| 6H-N | 0.02 tot en met 0,1 Ω•cm | ||||||||
| 4/6H-SI | ≥1E5 Ω·cm | ||||||||
| Primary Flat | {10-10} ± 5,0° | ||||||||
| Primaire vlakke lengte | 18.5 mm±2.0 mm | ||||||||
| Secundaire vlakke lengte | 100,0 mm±2,0 mm | ||||||||
| Secundaire platte oriëntatie | Silicium opwaarts: 90° CW. vanaf Prime flat ±5,0° | ||||||||
| Buitekant uitsluiting | 1 mm | ||||||||
| TTV/Bow/Warp | ≤ 10 μm /≤ 10 μm /≤ 15 μm | ||||||||
| Ruwheid | Pools Ra≤1 nm | ||||||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||||||
| Scheuren door licht van hoge intensiteit | Geen | 1 toegestaan, ≤2 mm | Kumulatieve lengte ≤ 10 mm, enkelvoudige lengte ≤ 2 mm | ||||||
| Hexplaten met licht van hoge intensiteit | Cumulatieve oppervlakte ≤ 1% | Cumulatieve oppervlakte ≤ 1% | Cumulatieve oppervlakte ≤ 3% | ||||||
| Polytypegebieden volgens lichtintensiteit | Geen | Cumulatieve oppervlakte ≤ 2% | Cumulatieve oppervlakte ≤ 5% | ||||||
| Schrammen door licht van hoge intensiteit | 3 schrammen tot 1 × waferdiameter cumulatieve lengte | 5 schrammen tot 1 × waferdiameter cumulatieve lengte | 5 schrammen tot 1 × waferdiameter cumulatieve lengte | ||||||
| edge chip | Geen | 3 toegestaan, ≤ 0,5 mm elk | 5 toegestaan, ≤ 1 mm elk | ||||||
Toepassingen
4 SiC-epitaxiale wafers maken de massaproductie van betrouwbare energieapparaten mogelijk in onder meer:
-
Elektrische voertuigen
Trekkingsomvormers, ingebouwde opladers en gelijkstroom/ gelijkstroomomvormers. -
Vernieuwbare energie
Zonne-string-omvormers, windenergie-omvormers. -
Industriële aandrijvingen
Efficiënte motoren, servosystemen. -
5G / RF-infrastructuur
Versterkers en RF-schakelaars. -
Consumentenelektronica
Compacte, efficiënte voedingsbronnen.
Vaak gestelde vragen (FAQ)
1Waarom kies je voor SiC-epitaxiale wafers in plaats van silicium?
SiC biedt een hogere spanning en temperatuurtolerantie, waardoor kleinere, snellere en efficiëntere apparaten mogelijk zijn.
2Wat is het meest voorkomende SiC-polytype?
4H-SiC is de voorkeur keuze voor de meeste high-power en RF toepassingen vanwege zijn brede bandgap en hoge elektron mobiliteit.
3Kan het dopingprofiel aangepast worden?
Ja, het dopingspeil, de dikte en de weerstand kunnen volledig worden aangepast aan de toepassingsbehoeften.
4Typische doorlooptijd?
De standaardlevertijd is 4 8 weken, afhankelijk van de wafergrootte en het ordervolume.
5Welke kwaliteitscontroles worden uitgevoerd?
Uitgebreide tests, waaronder AFM, XRD, foutkaarten, analyse van dragerconcentraties.
6Zijn deze wafers compatibel met silicium fab apparatuur?
Meestal ja; er zijn kleine aanpassingen nodig vanwege de verschillende hardheid van het materiaal en de verschillende thermische eigenschappen.
Gerelateerde producten
12 inch SiC Wafer 300mm Silicon Carbide Wafer Leidende Dummy Grade N-Type Onderzoeksgraad