SiC-oven PVT Lely TSSG & LPE Crystal Growth Systems voor de productie van siliciumcarbide

SiC-oven: PVT, Lely, TSSG en LPE-kristalgroei-systemen voor de productie van siliciumcarbide van hoge kwaliteit

Abstract van Silicon Carbide Crystal Growth Furnace

Wij bieden een volledig assortimentOven voor het groeien van siliciumcarbide (SiC) kristallen, met inbegrip vanPVT (Physical Vapor Transport),Lely (inductiemethode), enTSSG/LPE (groei in vloeibare fase)de technologieën.

OnzePVT-ovensHet biedt SiC-kristallen van hoge kwaliteit met een precieze temperatuurregeling, ideaal voor halfgeleiders.Lely-ovensgebruik maken van elektromagnetische inductieverwarming voor de groei van grote SiC-kristallen met uitstekende uniformiteit en minimale defecten.TSSG/LPE-ovensZe zijn gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere SiC-kristallen en epitaxiale lagen voor geavanceerde energie- en opto-elektronische apparaten.

Ondersteund door geavanceerde automatisering, precisie systemen en robuuste ontwerpen, voldoen onze ovens aan diverse industriële en onderzoeksbehoeften.hoogwaardige oplossingen voor de groei van SiC-kristallen ter ondersteuning van geavanceerde toepassingen in de productie van hightechmaterialen.

Eigenschappen van de Silicon Carbide Crystal Growth Furnace

1PVT-methode (fysiek damptransport)

• Beginsel: Gebruikt resistieve verwarming om SiC-bronmateriaal te sublimeren, dat vervolgens op een zaadkristal condenseert om SiC-kristallen te vormen.

• Toepassing: voornamelijk voor de productie van SiC-enkelkristallen van halfgeleiderkwaliteit.

• Voordelen:
  • Kosteneffectieve productie.
  • Goed geschikt voor middelgrote kristalgroei.

• Belangrijkste kenmerken:
  • Gebruikt hoogzuivere grafietcomponenten zoals smeltkroesjes en zaadhouders.
  • Geavanceerde temperatuurregeling via thermocouples en infrarood sensoren.
  • Vacuüm- en inerte gasstroomsystemen zorgen voor een gecontroleerde atmosfeer.
  • Geautomatiseerde PLC-systemen vergroten de nauwkeurigheid en herhaalbaarheid.
  • Geïntegreerde koelsystemen en afvalgasbehandelingssystemen zorgen voor processtabiliteit.

2Lely-methode (inductieverwarming)

• Beginsel: Gebruikt hoogfrequente elektromagnetische inductie om de smeltkroes te verwarmen en SiC-poeder te sublimeren voor kristalgroei.

• Toepassing: Ideaal voor de groei van grote SiC-kristallen vanwege de superieure temperatuur-eenvormigheid.

• Voordelen:
  • Hoge thermische efficiëntie en gelijkmatige verwarming.
  • Vermindert kristalfouten tijdens de groei.

• Belangrijkste kenmerken:
  • Uitgerust met koperen inductie spoelen en SiC-gecoate smeltkroesjes.
  • Met hoge temperatuur vacuümkamers voor een stabiele werking.
  • Precieze controle van temperatuur en gasstroom.
  • PLC's en afstandsbedieningssystemen voor verbeterde automatisering.
  • Efficiënte koelsystemen en uitlaatsystemen voor veiligheid en betrouwbaarheid.

3TSSG/LPE-methode (groei in vloeibare fase)

• Beginsel: Los SiC op in een hoogtemperatuur gesmolten metaal en laat kristallen groeien via gecontroleerde koeling (TSSG) of legt SiC-lagen op een substraat (LPE).

• Toepassing: produceert ultra-hoge zuiverheid SiC-kristallen en epitaxiale lagen voor energie- en opto-elektronica.

• Voordelen:
  • Lage defectdichtheid en hoogwaardige kristalgroei.
  • Geschikt voor zowel bulkkkristallen als dunne-film afzetting.

• Belangrijkste kenmerken:
  • Gebruikt SiC-compatibele smeltkroesjes (bijv. grafiet of tantaal).
  • Biedt precieze verwarmingssystemen voor temperaturen tot 2100°C.
  • Sterk gecontroleerde rotatie/positioneringsmechanismen voor een uniforme groei.
  • Geautomatiseerde procesbesturing en efficiënte koelsystemen.
  • Aanpasbaar voor verschillende toepassingen, waaronder elektronica met een hoog vermogen.

Foto's van Silicon Carbide Crystal Growth Furnace

Onze dienst

1. Op maat gemaakte oplossingen
   We bieden op maat gemaakte siliconcarbide (SiC) oveloplossingen, inclusief PVT, Lely en TSSG/LPE technologieën, op maat gemaakt om aan uw specifieke behoeften te voldoen.We zorgen ervoor dat onze systemen aansluiten bij uw productiedoelen..
    

2. Opleiding van cliënten
   We bieden een uitgebreide opleiding aan om ervoor te zorgen dat uw team volledig begrijpt hoe u onze ovens moet bedienen en onderhouden.
    

3. Installatie en inbedrijfstelling ter plaatse
   Ons team installeert en start persoonlijk de SiC-ovens op uw locatie. We zorgen voor een soepele installatie en voeren een grondig verificatieproces uit om te garanderen dat het systeem volledig operationeel is.
    

4. Ondersteuning na verkoop
   Ons team is klaar om u te helpen met reparaties en probleemoplossingen ter plaatse om uitvaltijd te minimaliseren en uw apparatuur soepel te laten werken.
    

We zijn toegewijd aan het aanbieden van hoogwaardige ovens en continue ondersteuning om uw succes in SiC-kristalgroei te verzekeren.

V&A

V:Wat is de fysieke stoomtransportmethode van PVT?

A:DeFysiek stoomtransport (PVT)de methode is een techniek die wordt gebruikt voor het kweken van hoogwaardige kristallen, met name voor materialen zoals siliciumcarbide (SiC).een vast materiaal wordt verhit in een vacuüm- of laagdrukomgeving om het te sublimeren (om het rechtstreeks van een vast materiaal in een damp te veranderen), dat vervolgens door het systeem reist en zich als kristal op een koeler substraat afzet.

V:Wat is de groeimethode van SiC?

Een:Fysiek stoomtransport (PVT)

PVT bestaat uit het verwarmen van SiC-materiaal in een vacuüm om het te verdampen en vervolgens de damp op een koeler substraat af te leggen.

Chemische dampafzetting (CVD)

Bij CVD worden gasvormige precursoren zoals silane en propaan in een kamer geïntroduceerd waar ze reageren om SiC op een substraat te vormen.Lely-methode (inductieverwarming)

De Lely-methode maakt gebruik van inductieverwarming om grote SiC-kristallen te laten groeien.

Solution Growth (TSSG/LPE)

Met deze methode wordt SiC uit een gesmolten oplossing verbouwd, waardoor ultrazuivere kristallen en epitaxiale lagen worden geproduceerd, ideaal voor apparaten met hoge prestaties.