 |
Quartz Wafer Boat Hoog zuiverheids- en hoogtemperatuurbestendig Aanpasbaar
Productdetails:
| Plaats van herkomst: | China |
| Merknaam: | ZMSH |
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
| Min. bestelaantal: | 1 |
|---|
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Materiële zuiverheid: | SiO2≥ 99,999% | Smeltepunt: | 1730°C (verzachtingspunt) |
|---|---|---|---|
| Maximale wafercapaciteit: | 25 wafers (standaardgrootte) | Zuurresistentie: | Resistent tegen zwavelzuur, stikstofzuur en zoutzuur (behalve HF) |
| Corrosiebestendigheid: | 30x hoger dan keramiek, 150x hoger dan roestvrij staal | Compatibele processen: | Halfgeleiderdiffusie, gloeiing, fotovoltaïsche doping, laboratoriumreacties |
| Markeren: | Hoog zuivere kwartswaferboot,Aanpasbare kwartswaferboot,Hoogtemperatuurbestendige kwartswaferboot |
||
Productomschrijving
Inleiding van het product
Een waferboot, ook bekend als een boot of drager, is een cruciaal hulpmiddel in de halfgeleiderproductie voor het vasthouden, overbrengen en positioneren van wafers.Het moet bestand zijn tegen extreme omstandigheden zoals hoge temperaturen (> 1000°C), chemische corrosie en elektrostatische ontlading (ESD) om de veiligheid van de wafers tijdens verschillende processen te waarborgen.
Beginsel
- Ik weet het niet.Uitlijning en bevestiging:
Positioneringsgaten op de boot zijn uitgelijnd met pinnen in de wafercassette, waardoor batchoverdracht mogelijk is zonder handmatige manipulatie.
Twee-laag slotjes (boven en onder) beveiligen wafers tijdens thermische cyclus (bijv. glooien).
- Ik weet het niet.Thermische stressbeheersing
Met een laag thermisch uitbreidingsniveau (0,5 × 10 - 6 ° C) vermindert de warp onder temperatuurschommelingen.
De honingraatstructuur verdeelt de thermische spanning gelijkmatig.
Procescompatibiliteit:
Geometrieën van de sloot (bijv. I-type, V-type) voorzien van verschillende waferdikten (300 ∼800 μm) en zorgen voor de gasfase-reactantstroom.
De diamantenvormige doorsnede zorgt voor tweerichtings robotbelasting, waardoor de doorvoer verbetert.
Veiligheid en bescherming:
Buffercomponenten (veren, rubberen pads) absorberen mechanische schokken tijdens het plaatsen van de wafer.
Stikstofreiniging verwijdert residuen en voorkomt besmetting
Kenmerken
Gesmolten silicaglas is een gespecialiseerd industrieel glas gemaakt van siliciumdioxide (SiO2).
- - Ik weet het niet.Hoogtemperatuurweerstand:
Verzachtingspunt: ~ 1730°C.
Werkt continu bij 1100~1250°C en weerstaat kortdurende blootstelling tot 1450°C.
- - Ik weet het niet.Chemische traagheid:
Resistent tegen de meeste zuren (behalve fluorwaterstofzuur).
De corrosiebestendigheid is 30 keer hoger dan keramiek en 150 keer hoger dan roestvrij staal.
Behoudt stabiliteit onder extreme thermische omstandigheden, beter dan andere materialen.
- Thermische stabiliteit:
Extreme lage thermische uitbreidingscoëfficiënt (~ 5,5×10−7/°C).
Overleeft thermische schokken (bijv. verwarming tot 1100°C en afdoen in water).
- - Ik weet het niet.Optische transparantie:
Brede spectrumtransmissie van ultraviolet (UV) naar infrarood (IR).
Doorlaatbaarheid van zichtbaar licht: > 95%.
UV-doorlaatbaarheid piekt bij > 85% in het bereik van 185 ∼ 250 nm.
- - Ik weet het niet.Elektrische isolatie:
De weerstand is 10.000 keer hoger dan gewone glas.
Uitstekende diëlektrische eigenschappen, zelfs bij hoge temperaturen.
Toepassingen
Photovoltaïsche energie:Silicon wafer thermische behandeling en doping.
Onderzoek en ontwikkeling:Laboratoriale hoogtemperatuurreactoren en materiaalonderzoek