 |
Hoge zuiverheid saffieren lift pin voor halfgeleider wafer handling Custom grootte
Productdetails:
| Place of Origin: | China |
| Merknaam: | ZMSH |
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
| Min. bestelaantal: | 1 |
|---|---|
| Payment Terms: | T/T |
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Materiaal: | Enig Crystal Sapphire | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| Ruwheid van het oppervlak: | Ra ≤ 0,02 μm | Working Temperature: | >2000°C |
| Puntvorm: | Platte, ronde, afgekapte | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| Markeren: | Halveringswafer-handhaving Sapphire Lift Pin,Op maat gemaakte maten Sapphire Lift Pin,Hoog zuivere saffier-hefspeld |
||
Productomschrijving
Inleiding van het product
Sapphire lift pin is een lift pin gemaakt van hoogzuivere enkelkristallen saffieren, voornamelijk gebruikt in halfgeleider productieapparatuur om wafers te ondersteunen en te verplaatsen.Dankzij de uitstekende temperatuurbestendigheid van saffierHet gebruik van een sapphireleftpinnetje vermindert het risico op verontreiniging van de wafers aanzienlijk.verlengt de levensduur van de apparatuur, en verbetert het totale procesopbrengst.
Grondbeginsel
Het basisprincipe van een saffierhefspeld is om wafers tijdens de verwerking nauwkeurig op te tillen of te laten zakken om de juiste plaatsing te garanderen.Meerdere sapphirelefters werken meestal samen om te voorkomen dat de wafer vervormt of beschadigd raakt.Omdat de saffier-hefspeld bestand is tegen hoge temperaturen, vacuüm en corrosieve omgevingen, biedt het een veel langere levensduur en een hogere betrouwbaarheid dan conventionele materialen.
Specificaties
| Posten | Specificatie |
|---|---|
| Materiaal | Eénkristal saffier |
| Afmetingen | Op maat |
| Ruwheid van het oppervlak | Ra ≤ 0,02 μm |
| Werktemperatuur | > 2000°C |
| Coëfficiënt van thermische uitbreiding | 5.8 × 10−6 /°C |
| Buigkracht | ≥ 400 MPa |
| Doorzichtigheid | Hoog doorlaatvermogen in zichtbaar bereik |
| Corrosiebestendigheid | Uitstekend. |
| Tipvorm | Vlak, rond, vernauwd |
| Montage | met een gewicht van niet meer dan 50 kg |
Toepassingen
Saffirafters worden veel gebruikt in apparatuur voor etsen (Etch), chemische dampafzetting (CVD), fysieke dampafzetting (PVD) en atomaire laagafzetting (ALD).en koelingIn het bijzonder in opto-elektronische apparaten, MEMS-productie en de productie van vermogensemiconductoren.De sapphirele lift pin is een kerncomponent geworden..
V&A
Vraag 1: Waarom een saffieren liftpinnetje kiezen in plaats van keramische of metalen?
A1: De sapphirele liftpinnetje biedt een hogere chemische weerstand en thermische stabiliteit, en kan langdurig worden gebruikt in corrosieve gassen en bij hoge temperaturen.
V2: Geeft de saffierhefspeld tijdens het gebruik deeltjes?
A2: Vanwege het uiterst gladde oppervlak heeft de saffierhefspeld een uiterst laag risico op de opwekking van deeltjes, waardoor deze ideaal is voor ultrazuivere processen.
V3: Hebben verschillende machines een aangepaste sapphirelefters nodig?
A3: Ja, afhankelijk van het model van de machine en de vereisten van het proces, moet de saffier-liftpinnetje vaak worden aangepast in grootte, vorm en verbindingsinterface.
Gerelateerde producten
