Saffirafters voor halfgeleiders Keramische ophefspins

Saffirafters voor halfgeleiders Keramische ophefspins

Samenvatting van Sapphire lift pin

Sapphire-hefspenen zijn nauwkeurig ontworpen onderdelen die veel worden gebruikt in

apparatuur voor de verwerking van halfgeleiders, met name voor de verwerking van wafers, epitaxialegroei- en afzettingssystemen zoals MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) en andere hoge temperatuur, vacuüm,of corrosieve omgevingenDeze liftpinnen zijn vervaardigd van enkelkristallijn aluminiumoxide (Al2O3), ook wel synthetisch saffier genoemd, en worden gewaardeerd om hun uitzonderlijke hardheid, thermische stabiliteit, chemische weerstand,en duurzaamheid.

Eigenschappen van Sapphire-hefspeld

Saffirafels zijn vaak op maat gemaakt

Voordelen van saffierhefspenen

a.Hoogtemperatuurbestendigheid

Safir behoudt zijn mechanische sterkte bij temperaturen hoger dan 1500 °C, waardoor het goed geschikt is voor epitaxiale reactoren en afzettingskamers waar andere materialen kunnen vervormen, oxideren of afbreken.

b. Chemische stabiliteit

Safier is chemisch inert in reactieve en corrosieve gassen zoals H2, NH3 en HF, waardoor langdurige prestaties worden gewaarborgd in CVD- en etseringsomgevingen.

c. Extreme hardheid

De hoge hardheid van het oppervlak is bestand tegen slijtage en krassen door contact met de wafer en mechanische activering.

d. Dimensionele nauwkeurigheid

Sapphire kan worden bewerkte tot strakke toleranties (± 1 μm), waardoor een consistente waferlifthoogte, positioneringsnauwkeurigheid en uitlijningsbetrouwbaarheid worden gewaarborgd.

e.Laag deeltjesopwekking

In tegenstelling tot gecoate keramiek of metalen die kunnen vlokken of uitgassen onder thermische cyclussen, produceert saffier geen deeltjes, wat van cruciaal belang is voor cleanroom- en ultrazuivere procesomgevingen.

f.Lange levensduur

De slijtvastheid en stabiliteit van saffieren onder extreme omstandigheden dragen bij aan een lagere onderhoudsfrequentie en een langere bedrijfsduur van de apparatuur.

Fysieke afbeelding van een saffier-hefspeld

Toepassingen van saffierhefspenen

Sapphire lift pins worden gebruikt in een reeks halfgeleiders en geavanceerde materiaalprocessen waar wafers tijdens de fabricage nauwkeurig moeten worden behandeld.

a. MOCVD-systemen

• GaN-, GaAs- en InP-gebaseerde samengestelde halfgeleidergroei

• Productie van LED's en laserdioden

• Safirwafels en epi-klaar substraat

b.PECVD- en LPCVD-reactoren

• Waferoverdracht tijdens plasma-gebaseerde dunne film afzetting

• Gebruikt in micro-elektronica, zonnecellen, MEMS en fotonica

c.Oven voor thermische verwerking

• Hoogtemperatuurglühen, oxideren of diffusie

d.Inspectie en behandeling van wafers

• Mechanische systemen die wafers tijdelijk ondersteunen of manipuleren

e.Graverings- en reinigingskamers

• Wanneer chemische weerstand van cruciaal belang is bij voorreiniging of stripping van wafers

V&A

V: Welke belangrijke factoren moeten bij de aankoop van saffierpinnen in overweging worden genomen?

A:Toepassingsscenario

• Materiële omstandigheden: Bepaal aan welke omgevingsomstandigheden de liftpenen worden blootgesteld, zoals hoge temperaturen of corrosieve omgevingen.
• Doel: Kies een geschikt ontwerp op basis van de specifieke toepassing (bijv. spectroscopische metingen, precisieinstrumenten, enz.).

Afmetingen en specificaties

• Diameter en lengte: Selecteer de juiste diameter en lengte op basis van de grootte van de te ondersteunen of op te tillen monsters.
• Tolerantievereisten: Zorg ervoor dat de liftpinnen voldoen aan de dimensie-tolerantievereisten van uw toepassing om de nauwkeurigheid te behouden.

Gerelateerde aanbevelingen voor producten

van de soort gebruikt voor de vervaardiging van elektrische apparaten