Bloggegevens

Keramische robotarmen voor waferbehandeling in de halfgeleiderindustrie

De productie van halfgeleiderproducten vindt plaats in streng gecontroleerde schoonruimtes.waar werknemers antistatische kleding dragen om deeltjes- en elektrostatische ontladingen te voorkomen.

De halfgeleiders zijn extreem gevoelig, sommige wafers zijn zeer dun, slechts een fractie van een millimeter of zelfs dunner, waardoor een zachte behandeling van essentieel belang is.armaturenDeze hulpmiddelen mogen wafers niet verontreinigen en moeten ook bestand zijn tegen blootstelling aan zuren, alkalische stoffen,en warmtebehandeling, waardoor de duurzaamheid op lange termijn wordt gewaarborgd.

Inleiding tot keramische robotarmen voor halfgeleidergebruik

Materiaalkeuze:
De meeste halfgeleiderrobotarm is gemaakt van99% aluminiumkeramiek.

Eigenschappen van aluminiumkeramiek:
Aluminaseeramiek, een structurele keramiek, heeft een hardheid die alleen op diamant valt en overtreft staal en chroomstaal aanzienlijk op het gebied van slijtvastheid.Het biedt hoge temperatuurvertrouwen (tot 1600 °C)Het heeft een uitstekende slijt- en corrosiebestendigheid, een lage wrijving en een lichte structuur waardoor het ideaal is voor toepassingen in halfgeleiders.

Naamgeving en functie:
Deze aluminium keramische robotarmen, ook wel bekend alskeramische vorkofwafertransfer-eindeffectorenDeze functies zijn de “handen” van de robot en zorgen voor een veilige overbrenging van siliciumwafers naar aangewezen posities.Aangezien ze in direct contact komen met wafers, hun lichtgewicht helpt de belasting op robotapparatuur te verminderen en verlengt de levensduur.

Types keramische robotwapens:

• Tipe klem

• Tipe steun

• Vacuümzuigtype

• Bernoulli-type

Vervaardigingsproces van keramische robotwapens

1. Poederbereiding:Hoge zuiverheid aluminapoeder wordt gespoten en gegranuleerd tot bolvormige korrels.

2. Gevormd:De granulaten worden droog geperst om een groen lichaam te creëren, dat vervolgens met behulp van koud isostatisch persen wordt gevormd.

3. Verdichting:Het gevormde lichaam wordt bij hoge temperaturen gesinterd, waardoor de lege ruimte tussen de deeltjes wordt verwijderd en een dichte keramische vaste stof wordt gevormd.

4. Bewerking van oppervlakken en slijpen:Roterende slijpwielen verwijderen oppervlakte-oxiden en onzuiverheden.

5. Bewerkingen met precisie:Door het slijpen van het binnenste en buitenste oppervlak wordt het onderdeel verder verfijnd.

Structuur en functionaliteit

De keramische arm bevat:luchtkanalen en ventilatiegroevenWanneer vacuüm wordt aangebracht, ontstaat er zuigkracht om halfgeleideronderdelen zachtjes vast te klampen, waardoor mechanische spanningen, schrammen of scheuren van dunne wafers worden vermeden.

Voordelen van keramische wapens ten opzichte van metalen

1. Superieure corrosiebestendigheid:Keramische armen weerstaan zowel zure als alkalische omgevingen beter dan metalen armen en bieden een langere levensduur tijdens de verwerking van halfgeleiders.

2. Niet-verontreinigend:Keramiek reageert niet met andere stoffen, laat geen fijne deeltjes achter, draagt geen resterende statische lading en geeft geen metalen ionen vrij.

3. Minimale warmtevervorming:Tijdens thermische behandelingen behouden keramische armen hun vorm beter dan metalen, waardoor de vervorming van delicate halfgeleidercomponenten wordt verminderd.

Bredere toepassingen van keramische materialen

Behalve waferbehandelingsrobotarmen, keramische eigenschappenisolatie, hoge temperatuurbestandheid, zuur- en alkalisch bestand en chemische stabiliteitDeze technologieën zijn geschikt voor de productie van andere essentiële componenten die in moeilijke omgevingen worden gebruikt.het waarborgen van prestaties en schoonheid in veeleisende halfgeleiderprocessen.