Silicon Carbide Trays SiC wafers tray plaat voor ICP etsen MOCVD Susceptor slijtvast

Productomschrijving

Silicon Carbide Trays SiC wafers tray plaat voor ICP etsen MOCVD Susceptor slijtvast

Beschrijving

SIC-gecoate grafietbakken zijn vervaardigd van hoogzuivere grafietmatrices, die een SiC-coating ontvangen via CVD (chemische dampafzetting) met een uitzonderlijk hoge zuiverheid en theoretische dichtheid.Deze CVD SiC coating is uitzonderlijk hard.Deze bedekte bakken zijn uitstekend in hoge vacuüm- en hoge temperatuuromgevingen.waardoor ze ideaal zijn voor de halfgeleiderindustrie en andere ultra-schone instellingenZij worden hoofdzakelijk gebruikt als substraten voor de vorming van epitaxiale lagen op halfgeleiderwafels en bieden verschillende voordelen, zoals ultra-hoge zuiverheid van de oppervlakken en een superieure slijtvastheid.Met CVD die zorgt voor SiC-coatings met minimale poriën en het polijstbare karakter van siliciumcarbide, deze producten worden op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie, waaronder MOCVD-bakken, RTP- en oxide-etskamers,vanwege de uitstekende weerstand tegen thermische schokken van siliciumnitride en de uithoudingsvermogen van het plasma.

Productshowcase

Product eigenschappen

1. Ultrahoge zuiverheid
2. Uitstekende weerstand tegen thermische schokken
3. Uitstekende fysieke slagvastheid
4. Bewerkbaarheid voor complexe vormen
5. Uitstekende chemische stabiliteit
6. Kan worden gebruikt in oxiderende atmosfeer.

Toepassing van het product

ICP Etching:Siliciumcarbidebakken zijn cruciale componenten in ICP (Inductively Coupled Plasma) etseringssystemen, waar ze dienen als robuuste platforms voor het vasthouden en verwerken van halfgeleiderwafels.De slijtvastheid van de bakken zorgt voor langdurige betrouwbaarheid en consistentie tijdens het etsen, die bijdragen aan een nauwkeurige overdracht van patronen en oppervlaktewijziging op de wafers.

MOCVD-verdachte:In MOCVD-systemen fungeren Silicon Carbide Trays als ontvankelijkheden en bieden ze een stabiele ondersteuning voor de afzetting van dunne films op halfgeleidersubstraten.Het vermogen van de bakken om een hoge zuiverheid te behouden en hoge temperaturen te weerstaan, maakt ze ideaal om de groei van epitaxiale lagen met een superieure kwaliteit en uniformiteit te vergemakkelijken.

slijtvast:Deze trays zijn voorzien van een SiC-coating en hebben een uitzonderlijke slijtvastheid, waardoor ze zelfs onder veeleisende bedrijfsomstandigheden een langere levensduur hebben.Hun weerstand tegen slijtage en chemische afbraak verhoogt de productiviteit en vermindert de stilstand, waardoor zij onmisbaar zijn in milieus voor de vervaardiging van halfgeleiders met een hoge doorvoer.

De SIC-gecoate grafietbak wordt gebruikt als basis voor het bevestigen en verwarmen van halfgeleiderwafels tijdens de warmtebehandeling.en de thermische schokbestendigheidIn het silicium-epitaxieproces wordt de wafer op een basis gedragen.en de prestaties en kwaliteit van de basis hebben een cruciaal effect op de kwaliteit van de epitaxiale laag van de wafer.

V&A

Wat is grafietgevoelig?

Verpakkingen en muffels van grafietmaterialende sinter beschermen tegen externe invloeden, zoals directe thermische straling van de verwarmingselementen. Ze verwarmen zichzelf en geven hun warmte gelijkmatig naar de werkstukken af. Lokale oververhitting (zogenaamde hotspots) wordt vermeden.

Wat is SiC-coating?

Wat is een siliciumcarbidecoating?een dicht, slijtagebestendige siliconcarbide (SiC) coatingHet heeft hoge corrosie- en hittebestendigheid en een uitstekende thermische geleidbaarheid.Toepassingen.

Wat is siliciumcarbidegrafiet?

SiC30 - Siliciumcarbide-grafiet samengesteld materiaal

SiC30 iseen uitzonderlijk samengesteld materiaal dat bestaat uit siliciumcarbide en grafiet, waarvan de combinatie van eigenschappen problemen oplost die niet met andere materialen kunnen worden opgelost.Producten

Aanbeveling van het product

1SIC Silicon Carbide Wafer 4H - N Type Voor MOS-apparaat 2 inch Dia50.6mm ((voor meer klik op de afbeelding)

Opmerking:

Neem contact met ons op voor specifieke details met betrekking tot aanpasbare productopties.

Sleutelwoorden:

1. Tellers van siliciumcarbide
2. SiC-coating
3. CVD (chemische dampafzetting)
4. Hoge zuiverheid
5. slijtvast
6. Halveringsindustrie
7. Epitaxiale laag
8. MOCVD
9. Thermische schokbestendigheid
10. Aanpasbare opties